Teknụzụ nhicha laserbụ ojiji nke ọma nke teknụzụ laser n'ọhịa injinia. Isi ihe dị na ya na-eji ike dị elu nke laser eme ihe iji mee ka mmekọrịta dị n'etiti ogwe laser na ihe ndị na-emerụ emerụ na-arapara na ihe ndị e ji arụ ọrụ. A na-ekewapụ ihe ndị na-emerụ emerụ site na ihe ndị e ji arụ ọrụ site na mgbasawanye okpomọkụ ozugbo, ịgbaze, mgbanwe gas na usoro ndị ọzọ. Site na arụmọrụ dị elu, ịdị mma gburugburu ebe obibi na nchekwa ike, teknụzụ nhicha laser ejirila nke ọma na nhicha ebu taya, iwepụ agba ahụ ụgbọelu, mweghachi ihe ochie omenala na ubi ndị ọzọ.
Teknụzụ nhicha ọdịnala gụnyere nhicha esemokwu igwe (ịcha ájá, nhicha mmiri dị elu, wdg), nhicha kemịkalụ kemịkalụ, nhicha ultrasonic, nhicha ice kpọrọ nkụ na ihe ndị ọzọ. A na-eji teknụzụ ndị a eme ihe n'ọtụtụ ụlọ ọrụ. Dịka ọmụmaatụ, ịgba ájá nwere ike iwepụ ntụpọ nchara ígwè, ihe mkpuchi elu na ihe mkpuchi conformal na bọọdụ sekit site na ịhọrọ ihe ndị siri ike dị iche iche. A na-ejikarị nhicha kemịkalụ eme ihe maka iwepụ nha mmanụ elu akụrụngwa, nhicha nha boiler na iwepụ pipeline mmanụ. Ọ bụ ezie na ọ tozuru okè, ụzọ ọdịnala nwere ihe ndọghachi azụ pụtara ìhè: ịgba ájá na-emebi elu e mesoro ngwa ngwa, nhicha nchara kemịkalụ na-akpata mmetọ gburugburu ebe obibi ma nwee ike imebi ihe ndị dị na ya ma ọ bụrụ na ejiri ya mee ihe na-ekwesịghị ekwesị. Mmalite nke nhicha laser na-egosi mgbanwe na teknụzụ nhicha. Site na iji njupụta ike dị elu nke laser, nkenke na nnyefe dị irè, nhicha laser na-eme ka ụzọ ọdịnala dị mma na arụmọrụ nhicha, nkenke na nhazi. Ọ na-ewepụ mmetọ gburugburu ebe obibi site na nhicha kemịkalụ ma ọ nweghị mmebi na ihe ndị dị na ya.
Ụkpụrụ nke nhicha laser
Gịnị kpọmkwem bụ nhicha laser? Ọ na-ezo aka na usoro nke iwepụ ihe sitere na elu siri ike (ma ọ bụ mgbe ụfọdụ mmiri mmiri) site na radieshon laser. Na obere mmetụta laser, ike laser a na-amịkọrọ na-ekpo ọkụ ihe, na-eme ka ikuku gwụ ma ọ bụ sublimation. Na nnukwu mmetụta laser, ihe na-agbanwekarị ka ọ bụrụ plasma. Nhicha laser na-ejikarị laser pulsed eme ihe maka iwepụ ihe, ọ bụ ezie na ogwe laser na-aga n'ihu nwere ike iwepụ ihe ndị ahụ n'ike zuru oke. A na-ejikarị laser excimer miri emi, nke nwere ogologo ebili mmiri dị ihe dị ka 200 nm, eme ihe maka fotoablation.
Omimi nkeike laserNtinye na ọnụọgụ ihe ewepụrụ kwa pulse dabere na njirimara anya nke ihe ahụ, yana ogologo laser na oge pulse. A na-akọwa oke oke a na-ewepụ site na ihe mgbaru ọsọ kwa pulse dị ka ọnụego ablation. Njirimara radieshọn laser dị ka ọsọ nyocha na mkpuchi ahịrị na-emetụta usoro ablation nke ukwuu.
Ụdị Teknụzụ Nhicha Laser
1) Ịsacha akọrọ nke laser
Ọrụ nhicha akọrọ nke laser gụnyereNtugharị laser ozugbo nke ihe ndị e ji arụ ọrụ. Ihe ndị na-emerụ emerụ ma ọ bụ ihe ndị na-emepụta ihe na-amịkọrọ ike laser, na-eme ka okpomọkụ ha dịkwuo elu ma na-akpali mmụba okpomọkụ ma ọ bụ mkpọtụ okpomọkụ nke ihe ndị na-emepụta ihe, nke na-ekewapụ ihe ndị na-emerụ emerụ na ihe ndị na-emepụta ihe. Ọ na-eme n'ọnọdụ abụọ: ma ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu na-amịkọrọ ike laser ma gbasaa, ma ọ bụ ihe ndị na-emepụta ihe na-amịkọrọ ike ma na-ama jijiji n'ọkụ.
Na 1969, SM Bedair na ndị otu ya chọpụtara na ọgwụgwọ elu nkịtị (ọgwụgwọ okpomọkụ, nchara kemịkalụ, na ịcha ájá) niile nwere oke. Ha hụrụ na oke ike dị elu nke lasers lekwasịrị anya nwere ike ịgbaze ihe ndị dị n'elu na-emebighị ihe ndị dị n'elu. Nnwale ndị a kwadoro na Q-switched ruby laser nwere ike nke 30 MW/cm² nwere ike ihicha ihe ndị na-emerụ ahụ site na elu silicon na-enweghị mmebi substrate, nke bụ akara mbụ nke mmejuputa nhicha akọrọ laser.
Enwere ike igosipụta ọnụego nhicha zuru oke site na ọnụego mwepụ nke ihe mkpofu ihe nkiri, dịka egosiri n'okpuru:
(Usoro: ε—index ike pulse laser; h—index ọkpụrụkpụ ihe nkiri; index E—film elastic modulus index)
2) Ịsacha Mmiri Laser
Tupu e jiri laser radieshon mee ka ọ na-enwu, a na-ekpuchi ihe nkiri mmiri mmiri n'elu ihe eji arụ ọrụ. Ike laser na-ekpo ọkụ ma na-eme ka ihe nkiri ahụ gbazee ngwa ngwa, na-emepụta ihe mberede ozugbo nke na-ewepụ ihe ndị ruru unyi na ihe nkiri ahụ. Usoro a achọghị mmeghachi omume kemịkalụ n'etiti ihe nkiri ahụ na ihe nkiri ahụ, na-egbochi ihe ndị dị na ya.
Na 1991, K. Imen na ndị otu ya lebara anya n'ihe ndị na-emerụ emerụ dị n'ime wafers na ígwè semiconductor mgbe e mechara nhicha ha. Ha ji ihe nkiri laser na-amịkọrọ ihe kpuchie ihe ndị dị n'ime ala ma jiri laser CO₂ kpuchie ya. Ihe nkiri ahụ na-amịkọrọ ike, kpoo ọkụ ngwa ngwa, sie ya ma gbawaa uzuoku, na-ewepụ ihe ndị na-emerụ emerụ n'elu ala—nke a na-akọwa nhicha mmiri laser.
3) Nhicha ọkụ ọkụ nke laser Plasma
Mmiri ọkụ laser plasma na-etolite mgbe lasers na-eme ka ikuku ghọọ ional shockwaves plasma rounder n'oge radieshon. Mmiri ọkụ ndị a na-awakpo substrates, na-ewepụta ike iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ n'emebighị substrates (laser anaghị akpakọrịta ozugbo na substrates). Teknụzụ a na-ehicha ihe dị ka iri nanomita ma ọ naghị etinye ihe mgbochi na ogologo laser.
A chịkọtara ụkpụrụ anụ ahụ nke nhicha plasma dị ka ndị a:
a) A na-amịkọrọ oghere laser site na oyi akwa ruru unyi dị n'elu ihe mgbaru ọsọ ahụ.
b) Ntinye ike dị elu na-emepụta plasma na-agbasa ngwa ngwa (gas na-adịghị agbanwe agbanwe nke ukwuu), na-emepụta ebili mmiri ọkụ.
c) Iberibe ihe na-akpata nsogbu ma wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ.
d) Ọkụ laser ga-adị mkpụmkpụ nke ukwuu iji zere mkpokọta okpomọkụ nke na-emebi ihe dị n'okpuru ya.
e) Nnwale na-egosi ụdị plasma n'elu ígwè mgbe oxides dị.
Mmepụta plasma na-eme naanị n'elu oke njupụta ike, nke dabere na oyi akwa ihe ruru unyi ma ọ bụ oxide a ga-ewepụ. Enwere oke nke abụọ dị elu, nke gafere nke substrate ahụ mebiri emebi. Iji hụ na nhicha dị irè na-enweghị mmerụ ahụ substrate, a ga-agbanwerịrị paramita laser iji mee ka njupụta ike pulse dị n'etiti oke abụọ ahụ.
Na 2001, JM Lee na ndị otu ya jiri ike dị elu lesa mee ihe iji belata ihe mgbu nke plasma. Laser a na-akpọ pulsed laser nwere ike nke 2.0 J/cm² (karịa oke mmebi silicon) tinyere wafer silicon n'otu oge, wee wepụ ihe ruru 1 μm tungsten. N'ikwu ya n'ụzọ doro anya, nhicha wave plasma laser laser bụ otu n'ime ihe nhicha akọrọ.
Ná mmalite, e mepụtara teknụzụ nhicha laser atọ a iji wepụ obere ihe ndị dị n'ime wafer semiconductor, ha agbasaala ruo n'ịsacha ebu taya, iwepụ agba akpụkpọ ahụ ụgbọelu, mweghachi ihe ochie omenala na ihe ndị ọzọ. Enwere ike ịfụ gas na-adịghị arụ ọrụ n'elu ihe ndị dị n'okpuru ala n'oge a na-eji laser eme ihe iji wepụ ihe ndị na-emerụ ahụ ozugbo, na-egbochi mmetọ na oxidation.
Ngwa nke Teknụzụ Nhicha Laser
1) Ụlọ ọrụ Semiconductor: Nhicha nke Wafers Semiconductor na Optical Substrates
Wafers Semiconductor na ihe ndị dị n'ime optical na-agafe otu usoro nhazi (ịcha, ịcha) iji mepụta ọdịdị achọrọ, na-ewebata ihe ndị na-emerụ ahụ nke siri ike iwepụ ma na-adịkarị mfe ịgbaze. Ihe ndị dị n'ime wafers na-emebi ịdị mma nke ibipụta sekit ma na-ebelata ndụ chip. Na ihe ndị dị n'ime optical, ha na-emebi arụmọrụ ngwaọrụ anya na mkpuchi, na-akpata nkesa ike na-adịghị mma ma na-ebelata ndụ ọrụ.
A naghị eji laser kpọrọ nkụ ebe a n'ihi ihe egwu mmebi nke substrate, ebe nhicha mmiri na nhicha shockwave plasma nwere ọtụtụ ọrụ na-aga nke ọma. Xu Chuanyi na ndị otu ya tinyere agba magnetik micron dị ka ihe nkiri dielectric na substrates anya dị nro nke ukwuu, na-enweta nhicha laser pulsed dị irè. Ọ bụ ezie na ihe ruru unyi niile mụbara, nha na mkpuchi ha belatara nke ukwuu. Zhang Ping mụrụ mmetụta nke anya ọrụ na ike laser na arụmọrụ nhicha maka ihe ruru unyi dị iche iche. Nnwale gosiri na laser 240 mJ nwetara nhicha kacha mma nke polystyrene na iko na-eduzi na anya ọrụ 1.90 mm. Arụmọrụ nhicha ka mma site na ike laser dị elu, ọ dịkwa mfe iwepụ obere ihe ndị buru ibu.
2) Ụlọ ọrụ Ígwè: Ịsacha Elu Ígwè
Nhicha elu ígwè na-ebute ihe ndị na-emerụ ahụ dị ka ihe ndị na-adịghị mma: oyi akwa oxide/rust, agba, mkpuchi na ihe ndị ọzọ e ji mee ya, nke a na-akpọ organic (agba, mkpuchi) ma ọ bụ ihe ndị na-adịghị mma (nchara). Nhicha na-emezu ihe achọrọ maka nhazi/ojiji ndị ọzọ: dịka ọmụmaatụ, iwepụ oyi akwa oxide 10 μm dị arọ site na titanium alloys tupu ịgbado ọkụ, iwepụ agba na akpụkpọ ụgbọelu maka agbagharị agba, na ihicha ihe fọdụrụ na roba site na ebu taya iji hụ na ngwaahịa ahụ dị mma ma nwee ndụ ogologo oge.
Ọla nwere oke mmebi karịa oke nhicha ihe ruru unyi ha, nke na-eme ka nhicha dị irè site na iji lasers nwere ike rụọ ọrụ nke ọma. Ngwa ndị tozuru okè gụnyere: Wang Lihua et al. gosiri na laser 5.1 J/cm² wepụrụ akwa oxide site na alloy aluminum A5083-111H ebe ọ na-echekwa ịdị mma nke substrate, yana laser pulsed 100 W hichara nke ọma na akwa titanium alloy oxide yana ime ka elu sie ike. Ndị na-emepụta ihe n'ụlọ (Raycus Laser, Han's Laser, Shenzhen Chuangxin) na-enye ngwa nhicha laser maka ebu roba, nchara ígwè na mwepụ mmanụ akụkụ.
3) Nchekwa Ihe Omenala: Nhicha nke Ihe Omenala na Ihe Omenala Akwụkwọ
Ihe ndị e ji echekwa ihe mgbe ochie n'ọdịnala ígwè na nkume na-achịkọta unyi, ntụpọ ink na ihe ndị ọzọ na-emerụ ahụ ka oge na-aga, nke a chọrọ ka e wepụ ha iji weghachi ọdịdị mbụ ha. Ihe ndị e ji akwụkwọ mee (eserese, akwụkwọ a na-akpọ calligraphy) na-emepụta ebu na ihe e ji kpuchie ihe mgbe a na-echekwa ha nke ọma, na-emebi ọnọdụ ha na uru omenala/akụkọ ihe mere eme ha nke ukwuu.
Zhao Ying na ndị otu ya kwadoro nhicha UV laser nke ihe e ji ebu mee na akwụkwọ osikapa: otu nyocha na 3.2 J/mm² wepụrụ ihe e ji ebu mee obere ihe, ebe nyocha abụọ wepụrụ ihe e ji ebu mee kpamkpam; ike laser gabigara ókè mebiri akwụkwọ ahụ. Zhang Xiaotong weghachiri ihe e ji ọla nchara mee nke ọma site na iji usoro mmiri laser. Zhang Licheng tinyere nhicha laser na ihe e ji ebu nwanyị e sere ese site na Han Dynasty. Yuan Xiaodong na ndị otu ya tụlere irè nhicha laser maka ihe e ji nkume mee, na-atụnyere mmebi substrate na arụmọrụ mwepụ maka ink, anwụrụ ọkụ na agba na sandstone.
Mmechi
Ịsacha laser bụ teknụzụ dị elu nke nwere nnukwu nnyocha na ngwa na mbara igwe, ngwa agha, ngwa eletrọniki na ngalaba ndị ọzọ dị oke mma. O tozuola n'ọtụtụ ụlọ ọrụ n'ihi arụmọrụ ya, ịdị mma gburugburu ebe obibi na nsonaazụ nhicha dị mma, ngwa ya na-aga n'ihu na-agbasa. E wezụga mwepụ agba na nchara edobere, ọganihu ndị na-adịbeghị anya gụnyere nhicha laser nke oyi akwa oxide na waya ígwè. Mmepe n'ọdịnihu dabere na ịgbasa ngwa ndị dị adị, ịbanye n'ọhịa ọhụrụ na akụrụngwa ọhụrụ:
- Mee ka nnyocha echiche sikwuo ike iji duzie ojiji bara uru. Nnyocha dị ugbu a dabere nke ukwuu na nnwale, enweghị usoro echiche tozuru okè. Ịmepụta usoro dị otú ahụ dị oke mkpa maka ntozu okè teknụzụ.
- Gbasaa ojiji n'ọhịa ndị dị adị na ndị ọhụrụ. O tolitere n'iwepụ agba/nchara, ojiji ndị na-apụta gụnyere nhicha waya oxide ígwè, na-enye ala dị mma maka uto.
- Mepụta ngwa nhicha laser ọhụrụ, na-agbanwe gaa na ngwaọrụ zuru ụwa ọnụ nwere ọtụtụ ihe (dịka ọmụmaatụ, agba/iwepụ nchara) na ngwaọrụ pụrụ iche (dịka ọmụmaatụ, ihe ndozi/eriri ahaziri maka oghere ndị a kpọchiri akpọchi). Mmepụta akpaaka zuru oke site na ijikọta na robot ụlọ ọrụ mmepụta ihe bụ ụzọ dị mma isi mee nke a.
Oge ozi: Mee-14-2026
