Nchịkọta zuru ezu nke Isi Ịkwado Laser Na-efe efe

Nchịkọta zuru ezu nkeIsi Ịkwado Laser Na-efe efe

Ọ na-ekpuchi aha akụkụ, nkọwapụta, ụkpụrụ, paramita nhazi na mgbakọ usoro, ọ na-emetụtakwa ya naịgbado ọkụ nyocha ọsọ ọsọ(dịka sistemụ galvanometer) ma ọ bụ ngwa ịgbado ọkụ n'ebe dị anya.

1. Nhazi na Nkọwa nke Isi Ịkwado Ịkwado Ịkwado Ịfe Ọsọ Laser

Ịgbado ọkụ (Ịgbado ọkụ laser scanning) na-eme ka a na-elekwasị anya nke ọma site na galvanometer dị elu na-egosipụta ogwe laser, ọ dịkwa mma maka nnukwu mpaghara naịgbado ọkụ ọsọIsi ihe ndị dị na ya bụ ndị a:

1. Modulu Njikọta Ọkụ

Kọlịmatọ

Ọrụ: Gbanwee mmepụta laser divergent (NA=0.1~0.22) site na eriri optical ka ọ bụrụ ogwe yiri nke ahụ.

Paịmatị isi: Ogologo focal fcoll, dayameta collimated beam Dcoll.

Usoro:

Sistemụ Nnyocha Galvanometer 1.2

Enyo Galvo X/Y-axis

Ọrụ: Gbanwee ntụziaka nke ìhè site na enyo na-agbagharị ọsọ ọsọ iji nweta nyocha ụgbọelu abụọ.

Isi paramita: Ọsọ nyocha (na-abụkarị ≥10m/s), izi ezi nke ọnọdụ ugboro ugboro (<±5μrad), nha enyo (ọ dị mkpa ikpuchi dayameta nke oghere Dcoll).

Moto Galvanometer: Moto Servo ma ọ bụ moto galvanometer nwere oge nzaghachi nke <1ms.

1.3 Modulu Nlekwasị Anya Na-agbanwe agbanwe (Lens F-Theta ma ọ bụ Galvanometer + Lens dị larịị)

Lens F-Theta

Ọrụ: Gbanwee akụkụ ntụgharị nke galvanometer ka ọ bụrụ mgbanwe kwụ ọtọ na mbara igwe iji nọgide na-enwe nguzozi na-elekwasị anya.

Usoro dị mkpa:

2. Ụkpụrụ Ọrụ

Ụzọ ọkụ: Laser → Collimator → X galvanometer → Y galvanometer → F-Theta lens → Workpiece elu.

Ntinye uche ike:

Mgbe akụkụ ndọpụ galvanometer bụ θ, a na-agbanwe ọnọdụ lekwasị anya (x, y) site na iji oghere F-Theta dị ka:

3. Usoro Nhazi Isi na Usoro

3.1 Ngụkọta nha ntụpọ

Dayameta ntụpọ lekwasịrị anya d (oke mgbasa ozi):

3.2 Oke Nnyocha na Akuku Galvanometer

Oke nyocha kachasị elu L:

3.3 Ọsọ na Ọsọ Ịgbado Ọkụ

Ọsọ kwụ ọtọ v

3.4 Omimi nke Nlekwasị Anya (DOF)

3.5 Njupụta Ike na Ntinye Ike

Ike njupụta I:

Ike njupụta E (mgbado ọkụ):

4. Mmebi na Nhazi Nhazi

4.1 Ndozi Mgbanwe Lens F-Theta

Mgbagọ: Ọ dị mkpa ka o zuo r∝θ, mgbagọ na-abụghị nke ahịrị kwesịrị ịbụ <0.1%.

Usoro ịgbagharị: Mepụta ubi dị larịị site na otu dị iche iche nwere ọtụtụ lenses.

4.2 Njehie Mmekọrịta Galvanometer

Oge igbu oge X/Y galvanometer kwesịrị ịbụ <1μs iji zere ntụpọ elliptical.

5. Ihe atụ nke Usoro Nhazi

Ihe achọrọ maka ntinye: Oke nyocha L, nha ntụpọ d, ọsọ ịgbado ọkụ v. Họrọ oghere F-Theta: Chọpụta fθ dịka L=2fθtan(θmax) si dị.

Gbakọọ paramita galvanometer: Ọsọ angular ω=v/fθ, ma chọpụta arụmọrụ galvanometer.

Lelee ịdị mma nke oghere ahụ: Mee ka mgbanwe dị n'etiti oghere anya dịkwuo mma site na Zemax/OpticStudio.

6. Ihe Ndị A Ga-akpachara Anya

Njikwa okpomọkụ: Galvanometers na lenses chọrọ ka mmiri jụọ oyi n'okpuru ike dị elu (dịka >1kW).

Nchedo mgbochi nkukọ: Galvanometers chọrọ brek mberede iji zere nkukọ igwe.

Nhazi: Na-ahazi njikọ nke ụzọ anya mgbe niile (ngbanwe <0.05mm).